新凯来：多款半导体装备亮相 SEMICONChina2025

【新凯来在 SEMICON China 2025 展会首次亮相并发布多款产品】3 月 27 日讯，3 月 26 日，SEMICON China 2025 在上海开幕。新凯来展区人头攒动。这是新凯来首次公开亮相，同时发布多款产品，覆盖半导体制造全流程。发布的产品，在工艺装备方面有扩散装备 RTP、EPI（峨眉山）等；刻蚀产品 ETCH（武夷山）；薄膜产品 PVD（普陀山）、CVD（长白山）、ALD（阿里山）。在量检测装备方面有光学检测产品岳麓山 BFI、丹霞山 DFI 等；光学量测产品天门山 IBO、天门山 DBO；PX 量测产品沂蒙山 AFM、赤壁山-XPXPS 等；功率检测产品 RATE-CP、RATE-KGD、RATE-FT。